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非易失性硅基光開關技術突破:Ge?Sb?Te?S?微環(huán)諧振器賦能下一代光子集成芯片

2025-07-31

基于Ge2Sb2Te3S2非易失性硅微環(huán)諧振器的高精度光開關技術突破


 引言:光開關在AI時代的核心價值

隨著人工智能與深度學習對高并行計算需求的爆發(fā)式增長,傳統(tǒng)電子芯片面臨能效瓶頸?;?strong>微環(huán)諧振器(MRR)的光開關憑借其納米級尺寸、超低功耗及光域并行處理能力,成為新一代光子計算的核心元件。東京大學與日本產(chǎn)業(yè)技術綜合研究所(AIST)合作開發(fā)的Ge?Sb?Te?S?(GSTS)非易失性硅微環(huán)諧振器光開關,通過創(chuàng)新性相變材料工程,實現(xiàn)了跨波長的高性能光調(diào)制,為光通信與光子AI芯片提供了顛覆性解決方案。




一、技術痛點:傳統(tǒng)光開關的局限性與GSTS材料的突破


1.1 MRR光開關的性能瓶頸

微環(huán)諧振器通過諧振波長處的光強度調(diào)制實現(xiàn)開關功能,其品質(zhì)因數(shù)(Q因子) 直接影響波長選擇精度與信道容量。傳統(tǒng)相變材料(如GST)在非晶態(tài)仍存在光吸收損耗,導致Q值下降,限制多波長系統(tǒng)的擴展性。


1.2 GSTS材料的革命性優(yōu)勢

Ge?Sb?Te?S?(GSTS)作為寬禁帶相變材料,具備四大突破特性:

  • 近零非晶態(tài)吸收(0.0062 dB/μm),保留MRR高Q因子(>9.7×10?

  • 高晶態(tài)吸收率(2.3 dB/μm),實現(xiàn)>35 dB消光比

  • 無毒環(huán)保特性(對比含硒材料GSST)

  • 支持C+L波段寬帶操作(1490–1560 nm)

GSTS非易失性光開關核心結(jié)構(gòu) 

圖1:集成GSTS強度調(diào)制器的硅微環(huán)諧振器光開關三維示意圖




二、核心技術:GSTS-MRR光開關的設計與制造


2.1 器件架構(gòu)優(yōu)化

器件采用220 nm SOI硅波導平臺,通過優(yōu)化20 μm半徑微環(huán)設計,在緊湊尺寸下實現(xiàn)高FSR(自由光譜范圍),支持多波長并行處理。


2.2 關鍵制造工藝

1. 等離子增強化學氣相沉積(PECVD)生長400 nm SiO?包層

2. 電子束光刻開窗形成2 μm調(diào)制區(qū)

3. 射頻濺射沉積20 nm GSTS相變層與保護層

4. 精準圖案化定義光開關功能區(qū)

硅基光開關微納加工工藝

圖2:(a)GSTS光開關制造流程 (b)集成8μm調(diào)制器的MRR顯微圖




三、性能驗證:超低損耗與多波長切換能力


3.1 開關性能實測數(shù)據(jù)

狀態(tài)

吸收系數(shù) (dB/μm)

Q因子

消光比

非晶態(tài)

0.0062

9.7×10?

-

晶態(tài)

2.3

諧振峰消失

>35 dB


3.2 多波長操作優(yōu)勢

實驗證明,GSTS光開關在1490–1560 nm波段內(nèi):

  • 非晶態(tài)保持Q因子不變(對比無GSTS器件的4.9×10?

  • 晶態(tài)下完全抑制諧振峰,實現(xiàn)跨波長一致開關

低損耗多波長光開關性能

圖3:GSTS光開關非晶/晶態(tài)衰減對比




四、應用場景:賦能下一代光電子集成系統(tǒng)

4.1 光子神經(jīng)網(wǎng)絡加速

GSTS-MRR光開關的非易失特性可存儲權(quán)重信息,無需持續(xù)供電,顯著降低光子AI芯片功耗。其多波長并行能力可將矩陣運算速度提升10倍以上。

4.2 光通信系統(tǒng)升級

  • 波分復用(WDM)系統(tǒng):高Q值支持密集信道間隔

  • 可重構(gòu)光交換網(wǎng)絡:納秒級切換速度與零靜態(tài)功耗

非易失性光開關多波長控制

圖4:GSTS光開關寬帶操作性能




五、科毅光通信技術布局

作為領先的光開關解決方案提供商,廣西科毅光通信科技有限公司持續(xù)追蹤前沿光子技術:

技術轉(zhuǎn)化方向:

1. 開發(fā)基于GSTS的O-band/C-band商用光開關模塊

2. 優(yōu)化MRR陣列封裝工藝,提升集成密度

3. 探索硅基-聚合物混合集成降低成本




重新定義光開關的技術邊界

GSTS非易失性微環(huán)諧振器光開關的突破,標志著光電子集成進入低功耗、多波長、高精度的新時代??埔愎馔ㄐ艑⒊掷m(xù)推進該技術在數(shù)據(jù)中心、5G前傳及光子AI計算場景的落地,助力中國光電子產(chǎn)業(yè)升級。



 

選擇合適的光開關是一項需要綜合考量技術、性能、成本和供應商實力的工作。希望本指南能為您提供清晰的思路。我們建議您在明確自身需求后,詳細對比關鍵參數(shù),并優(yōu)先選擇像科毅光通信這樣技術扎實、質(zhì)量可靠、服務專業(yè)的合作伙伴。

 

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